通過機組自身的高效換熱系統,將進入裝置內的干燥氣體(如氮氣,氬氣或空氣)從環境溫度冷卻到低溫恒溫狀態, 設備出來的氣體即可達到目標低溫溫度。
PTZL系列直冷型制冷機適用于真空涂覆冷阱、半導體芯片測試、熱沉試驗、低溫液浴,氣體捕集、藥品凍干等多種用途。
Chiller高精度冷熱循環器,控溫精度在±0.1℃以內。產品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域,激光、高端醫療和精密實驗室溫控方案。
Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產品,控溫精度在±0.1℃以內。產品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域,激光、高端醫療和精密實驗室溫控方案。
TLS精密冷水機:使用溫度范圍:5~85℃,配有加熱器,屬于制冷加熱一體機。本產品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發熱部分的冷卻及溫度的控制。
SMART系列產品是專門為實驗室應用開發的一款小型高低溫動態控溫系統。適用于對玻璃反應釜、金屬反應釜、生物反應器等進行升降溫、恒溫控制,材料測試。